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一种硅圆晶连续提取装置

一种硅圆晶连续提取装置

专利申请号:CN201910980670.7

公 开 号:CN110797294A

发 明 人:钱波 

专利类型:发明专利

申 请 日:2020021400

公 开 日:20191016

专利主分类号:H01L21/683

摘      要:本发明涉及硅晶圆加工领域,具体涉及一种硅圆晶连续提取装置,包括有吸附提取组件包括真空分配器和吸附载盘,真空分配器的输出轴连接有吸附载盘,角度调节组件包括角度调节器和安装座,真空分配器的侧部设有支撑架,支撑架上安装有角度调节器,支撑架上设有安装架,安装座的一端与安装架铰接,安装座的另一端与角度调节器的输出轴铰接,安装座上安装有真空分配器,高度调节组件包括高度调节器,安装座上固定有高度调节器,高度调节器的输出轴传动连接有真空分配器,并带动真空分配器靠近或者远离安装架,本发明盘体的沟槽可供溢出的黏胶流入,以避免胶渗漏至硅晶圆与盘体之间而堵塞盘体的吸孔而造成吸附力下降,以防止硅晶圆因为吸附力不足导致晃动而破裂。

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