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一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统

一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统

专利申请号:CN201911190528.9

公 开 号:CN110672662A

发 明 人:宋巍巍 顾正华 盖文 刘向波 韩杰 梁文清 张文清 顾光武 曾星 

代 理 人:沈强

代理机构:51288 绵阳山之南专利代理事务所(普通合伙)

专利类型:发明专利

申 请 日:2020011000

公 开 日:20191128

专利主分类号:G01N25/68(20060101)

摘      要:本发明公开了一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统,该方案包括有进气口、不锈钢进气管道、测量腔、镜面、制冷机、质量流量控制器MFC、不锈钢出气管道和出气口;镜面设置在测量腔内;镜面通过制冷管路与设置在测量腔外的制冷机连接;不锈钢进气管道一端与进气口连接,另一端与测量腔连通;不锈钢出气管道一端与出气口连接,另一端与测量腔连通;质量流量控制器MFC串联安装在出气管道上。该方案可以避免由于MFC内部容易存水导致内表面材料缓慢释放水分,影响测量速度和精度。同时通过电伴热升温,减少气路管道内壁材料吸附水份的含量,提高露点测量速度。

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