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大范围分光瞳激光差动共焦显微快速定焦方法

Fast focusing method for large-range divided-aperture laser differential confocal microscopy

作     者:张成龙 邱丽荣 王允 吴寒旭 ZHANG Chenglong;QIU Lirong;WANG Yun;WU Hanxu;Beijing Key Lab for Precision Optoelectronic Measurement Instrument and Technology,School of Optics and Photonics, Beijing Institute of Technology

作者机构:北京理工大学光电学院'精密光电测试仪器及技术'北京市重点实验室 

出 版 物:《光学技术》 (Optical Technique)

年 卷 期:2020年第46卷第3期

页      面:310-315页

核心收录:

学科分类:08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基  金:自然基金重点基金(51535002) 国家重点研发计划资助(2016YFF0201005) 

主  题:光学测量 大范围 分光瞳 快速定焦 

摘      要:针对传统共焦显微技术中轴向扫描范围和扫描速度无法兼顾的问题,提出一种基于虚拟针孔探测的大范围分光瞳激光差动共焦显微快速定焦方法。通过分光瞳原理,将偏心光束法定焦和分光瞳虚拟针孔探测技术相结合,先利用激光光斑在CCD上的位置和样品位置的对应关系实现大范围的粗略定焦,再通过虚拟针孔差动传感实现高精度定焦,从而实现轴向大范围快速定焦。实验表明该方法轴向分辨力可以达到10nm,最大传感范围可达到70um,定焦速度是传统定焦方法的3.6倍。

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